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衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响
采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底上制备了厚度为320nm的ZnS薄膜,用XRD和光学相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应......
期刊
ZNS薄膜
衬底温度
微结构
应力
ZnS films
substrate temperature
mlcrostructure
stress
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